产品白皮书
EAP-设备自动化系统
基于⼯业互联⽹的设备联机
半导体前道整体⾃动化⽣产设备的全⾯的⾃动联机接⼊,包含CVD、PVD、光刻、ETCH、WET、IMP、测试设备,从⽽提升设备⽣产效率(OEE),降低设备维护成本,降低设备能耗,实现设备的实时监控和调整 , 设备及⽣产全过程数据采集。连接MES和相关的⽣产信息系统,实现跨平台数据集成,打破数据壁垒并解决设备数据孤岛。
基于⼯业⼤数据的⽣产运营改进
仅对历史数据进⾏分析和处理,通过基础数据的分析进⾏设备和⽣产的可预防性维护和改进,从⽽提升⽣产运营的效率,改进⼯艺流程,降低⽣产成本。通过多维度的实时和历史⼤数据分析挖掘和透视,为公司决策,⽣产运营,设备管理,现场管理提供全⽅位的数据分析和决策⽀持,为半导体前道⼯业4.0和智能⼯⼚的实现打下坚实基础。
质量和客户满意度提升
满⾜客户对现场的完整的全⾯追溯的要求,通过对真实的质量数据进⾏提取和分析,⼤幅改进⽣产的质量,提升客户满意度和半导体前道的品牌价值和竞争⼒。
EAP
设备自动化系统
DC
数采中心
BC/LC
生产管理信息化管理系统
MCS
物流控制管理系统
TMS
测试管理系统
哥瑞利EAP©是满足半导体前道、封测的工厂自动化系统,是连接半导体设备与上游系统的桥梁。
SECS
PLC
RV
DOS 共享
EAP Daemon
MQ
Data Collection Platform,数据采集平台。
DC可以通过协议上报/文件/数据库等多种方式获取设备的状态/警报/设备运行参数/板件信息等。并根据对应规则进行解析入库转发其他系统。也可根据配置对设备参数范围进行管控,实时监控。
主要功能
文档采集
协议采集
数据库采集
参数check与报警
1. 数据连接管理
含数据协议连接设置、文档采集设置等模块
数据连接协议设置:可配置化实现PLC(OPC)、SECS、HTTP、SOCKET、KAFKA、RV、RabbitMQ这些协议,建立连接;并可控制采集频率
设备下发控制设置:可通过配置化实现多系统多种协议之间的转换实现自动控制进行设备参数下发
文件采集设置:可配置化标注采集模版后定时自动根据标记将同类文件数据采集入库
数据库采集设置:可配置源数据库表和目标数据库表,通过调度方式显现实现采集
2. 数据转换存储设置
含消息映射设置、消息存储设置等模块;
消息映射设置:自助检索配置各种来源的消息,支持消息拆解/合并/转换等功能
消息存储设置:自助配置多种消息的关联消息转数据表存储设置,Scada数据设置,同消息不同存储设置等
支持一键自动生成配置,无需手动操作
3. 数据展示
自动直观的实时监控整厂所以设备的运行情况,监控产品Wafer的作业情况等信息
4. 对外数据服务
含有为上游第三方系统提供不通形式的数据,通过北向功能可通过配置化实现数据的多存储多转发(http/kafka)等
DC的优势
采集方式丰富
支持工业标准数据采集协议,支持互联网标准数据传输协议
BC/LC是生产管理信息化管理系统。该系统通过设备与MES等上位系统实现数据收集,传输,工艺自动化控制等。通过系统化方案减少人力、提高产能。系统主要广泛应用与半导体、LCD、PCB、光伏等行业。
BC/LC 系统架构说明
BC/LC 系统功能
TMS软件是EAP平台的业务子系统,通过TMS软件可以实时监控测试类设备的测试过程与测试结果,将测试结果进行汇总与分析, 达到实时良率管控,低良
率停机的客户需求。同时TMS可根据业务需求将分析及整合后的数据上报给MES系统,并提供测试数据查询与图表分析。
TMS主要用于测试数据解析、分析、图表、上报等常规作用功能;可延伸出测试良率管控实时报警以及追溯等功能。
测试数据记录:通过下游设备上报测试进站,以及出站时主动解析测试数据,统一存储。
测试数据详情:提供统一格式查看Summary文件,包括数量、bin的描述,以及机台名等,简洁统一的界面能够帮助员工快速上岗及工程人员的快捷数据查询。
上传下载:可主动上次测试文件解析,也可下载已经解析的测试文件。
图表数据:详情展示测试数据,包含文件信息、测试项、图表、BIN MAP图。
文件信息:解析后文件主要信息。
测试项:测试文件包含每个测试项的详细信息展示。
图表:根据测试项已经测试值通过,直方图、箱线图、趋势图、热力图、散点图等图表方式展示可供更只管观察测试数据统计。
BIN MAP:展示SBin、HBin图示数据,更直观展示出Fail、Pass等测试颗粒坐标。